Durchflussmesser und -regler für mehrere Bereiche und Gase

FMA7400_7500 Series

Masse-Durchflussmesser und Durchflussregler für Gase

Ohne Ausbau programmierbar
Programmierbarer Endwert
50:1 Bypass-Verhältnis
RS485-Schnittstelle als Standard
Edelstahl-VCR-Verschraubungen verfügbar
Schnelle Ansprechzeit unter 1 Sekunde
Mehrfache native Gaskalibrierungsreferenz
Konfigurierbar

Beschreibung

Mehr Informationen über Durchflussmesser finden Sie hier.

Die thermischen Massendurchflussmesser und -regler der Serien FMA7400/7500 mit Elastomerdichtung oder Edelstahldichtung (Option -SS) erreichen eine beispiellose Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit und Flexibilität bei zahlreichen Anwendungen zur Gasdurchflussmessung und -regelung. Die Konstruktion der FMA7400/7500 überwindet die bisher bestehenden Einschränkungen thermischer Massendurchflussgeräte beim Wechsel der Gasart. Die Genauigkeitsverluste durch die Viskositäts- und Dichteunterschiede von Kalibrierungs- und Prozessgas lassen sich nicht einfach mit dem Wärmekapazitätsquotienten als Korrekturfaktor beheben.

Die Omega FMA7400/7500 stützen sich auf eine Datenbasis aus gasspezifischen Korrekturfunktionen zur Berücksichtigung der sowohl thermischen als auch physikalischen Unterschiede zwischen den Gasen, die anhand tausender Testläufe ermittelt wurden. Damit zählen die FMA7400/7500 zu den Massendurchflussmessern mit der höchsten derzeit verfügbaren Genauigkeit und Flexibilität. Die FMA7400/7500-Serien sind die perfekte Wahl für die Verwendung von Massendurchflussmessern oder -reglern für unterschiedliche Gase, für häufige Wechsel der Gasart oder für Bereichsänderungen ohne Einbußen hinsichtlich Genauigkeit oder Regelgüte.

Zur Sicherstellung eines stabilen Dauerbetriebs sind die Omega FMA7400/7500 mit einem langlebigen, korrosionsbeständigen Sensor aus Hastelloy® C-22 ausgestattet.

Mit einer Einschwingzeit unter 1 Sekunde und einer Endwertgenauigkeit von 1% gewährleisten die FMA7400/7500 auch bei anspruchsvollen Gasströmungsanwendungen eine zuverlässige Durchflussmessung oder -regelung. Die FMA7400/7500 erzielen mit beiden Dichtungsvarianten hervorragende Leckraten auch bei schwierigen Prozessgasen, wie sie beispielsweise bei der chemischen Gasphasen abscheidung (CVD) oder in Solarprozessen vorkommen.

Omega bietet eine bis zu dreimal höhere prozessinterne Gasgenauigkeit gegenüber den bisher erreichbaren Gaskonvertierungsfaktoren. Erreicht wurde dies durch extrem genaue Kompensationsfunktionen auf Basis hochentwickelter Gasmodelle sowie umfangreicher Versuchsreihen. Das Gerät lässt sich schnell und einfach für ein anderes Gas und/oder einen anderen Durchflussbereich konfigurieren, ohne Einbußen bei der Genauigkeit oder Einstellbarkeit. Bei der Auswahl eines neuen Gases nimmt der Regler automatisch eine Reihe von Anpassungen vor: Erstellen einer neuer Kalibrierungskurve, Optimierung der PID-Regelung, Kompensation von Gasdichte- und Viskositätseinflüssen sowie eine überschwingungsfreie Anpassung auf die neue Durchflussrate. Damit bieten diese Geräte eine beispiellose Flexibilität hinsichtlich der Gasauswahl und äußerste Stabilität im ausgeregelten Zustand. Die Umprogrammierung lässt sich schnell und einfach durchführen. Ein neues Gas und ein neuer Bereich lassen sich in weniger als 60 Sekunden programmieren.

TECHNISCHE DATEN
Durchflussbereichsendwert: 3 sml/min bis 50 sl/min (je nach Modellnummer)
Durchflussgenauigkeit: ±1% des Sollwerts 35 bis 100%, ±0,35% des Endwerts 2 bis 35%, ±3% bei ausgewähltem Gas
Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit: < 0,2% des Sollwerts
Linearität: ±0,5% des Endwerts (in Genauigkeit enthalten)
Ansprechzeit (Einschwingzeit): < 1 Sekunde (innerhalb von 2% für Schritte 0 bis 10% bis hin zu 0 bis 100%)
Bereichsspannen-Verhältnis: 2 bis 100% (stromlos geschlossenes Ventil)
Behälteranzahl: 10 Behälter
Ventilabschaltung: < 1% des Endwerts (stromlos geschlossenes Ventil)
Nullstabilität: < ±0,5% des Endwerts pro Jahr
Druckkoeffizient: 0,03% pro 7 kPa (0 bis 3,5 bar N2)
Lageempfindlichkeit: unter Änderung um 0,25% der Spanne bei 90° nach erneuter Nullpunktkorrektur (N2 bei 3,5 bar)
Automatische Nullpunktkorrektur: Als Option
Referenztemperatur: 0°C (Standard), 15, 20 oder 21,1°C (als Option)
Betriebstemperaturbereich: 5 bis 50°C
Max. Betriebsdruck: 10 bar
Differenzdruck-Bereich:
3 bis 860 sml/min = 0,5 bis 3,1 bar,
861 bis 7200 sml/min = 1,0 bis 3,1 bar,
7201 bis 50000 sml/min = 1,7 bis 3,1 bar
Anmerkung: Gase mit hoher Dichte erfordern einen höheren Differenzdruck.
Beispiel: Anwendungen mit Argon erfordern einen zusätzlichen Differenzdruck von 0,7 bar.
Leckrate (extern): Elastomerdichtung 1x10-9 atm. ml/s He, Metalldichtung 1x10-10 atm. ml/s He
Ventiltyp: Stromlos geschlossen (nur Regler), stromlos geöffnet mit automatischer Abschaltung (als Option)
Prozessanschlüsse: 1/4" Klemmverschraubung (Standard), 1/4" VCR-Verschraubung mit Metalldichtscheibe (Standard für -SS Modelle)
Bedingungen am Gasauslass: Umgebungsluft (Standard), Vakuum oder positiver Druck (als Option)
Primär medienberührte Teile: Edelstahl 316, Hastelloy C-22, 17-7 pH, Edelstahl 430
Externe Dichtungen: FKM (Standard)
Als Option: Buna, Perfluroelastomer, EPDM oder Neopren, Edelstahl 316 (Standard für -SS)
Interne Dichtungen/Ventilsitz: FKM (Standard), PFA (Standard für -SS)
Als Option: Buna, Perfluroelastomer, EPDM oder Neopren
Elektrische Kennwerte
Diagnose-/Wartungsport: Alle Ausführungen haben einen RS485-Diagnose-/Wartungsport über eine 2,5 mm Buchse
RS485/Analog (Standard)
Digitales Kommunikationsprotokoll: Proprietäres Protokoll auf Grundlage des HART®-Befehlssatzes
Elektrische Anschlüsse: 1x Sub-D-Stecker, 15-polig, (A), AUX-Ventilbetätigung (Relais)
Analogein-/-ausgänge: 0 bis 5 V (Standard), 0 bis 10 V, 0 bis 20 mA oder 4 bis 20 mA (als Option)
Spannungsversorgung: 12 bis 24 V DC; normaler Betrieb 7 Watt, maximaler Spüldurchfluss 8 Watt
Profibus (als Option)
Elektrische Anschlüsse: 1x Sub-D-Buchse,15-polig/1x Sub-D-Buchse, 9-polig
Analogein-/-ausgänge: 0 bis 5 V, 0 bis 20 mA oder 4 bis 20 mA
Spannungsversorgung: ±13,5 V DC bis ±27 V DC; 7 Watt maximal, Spülen 8 Watt
DeviceNet (als Option)
Elektrische Anschlüsse: 1x M12 mit Überwurfmutter (B)
Analogein-/-ausgänge: 0 bis 5 V
Spannungsversorgung: ±11 V DC bis ±25 V DC; 7 Watt maximal, Spülen 8 Watt
Diagnose und Anzeige Statusanzeigen: Reglerzustand, Netzwerkstatus Alarme: Sensorausgang, Regelventilausgang, Übertemperatur, Spannungsspitze/Unterspannung, Netzwerkunterbrechung Konformität Umgebungsbedingungen: CE, RoHS

Bestellangaben (Bitte Modellnummer angeben)

Artikelnummer/Beschr.

Stk

Beschreibung

Massendurchflussmesser für Gase

FMA-7502

Consult Sales

Lieferzeit:

Massendurchflussmesser (Minimalbereich 1 bis 3 sml/min, Maximalbereich 3 bis 10 sml/min)

FMA-7503

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Massendurchflussmesser (Minimalbereich 3 bis 11 sml/min, Maximalbereich 11 bis 30 sml/min

FMA-7504

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Lieferzeit:

Massendurchflussmesser (Minimalbereich 11 bis 31 sml/min, Maximalbereich 31 bis 92 sml/min)

FMA-7505

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Lieferzeit:

Massendurchflussmesser (Minimalbereich 31 bis 93 sml/min, Maximalbereich 93 bis 280 sml/min)

FMA-7506

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Massendurchflussmesser (Minimalbereich 93 bis 281 sml/min, Maximalbereich 281 bis 860 sml/min)

FMA-7507

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Massendurchflussmesser (Minimalbereich 0,28 bis 0,86 sl/min, Maximalbereich 0,86 sl/min, Maximalbereich bis 2,6 sl/min)

FMA-7508

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Massendurchflussmesser (Minimalbereich 0,86 bis 2,6 sl/min, Maximalbereich 2,6 sl/min, Maximalbereich bis 7,2 sl/min)

FMA-7509

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Massendurchflussmesser (Minimalbereich 2,6 bis 7,2 sl/min, Maximalbereich 7,2 sl/min, Maximalbereich bis 15 sl/min)

FMA-7510

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Massendurchflussmesser (Minimalbereich 7,2 bis 15 sl/min, Maximalbereich 15 sl/min, Maximalbereich bis 30 sl/min)

FMA-7511

Consult Sales

Lieferzeit:

Massendurchflussmesser (Minimalbereich 15 bis 30 sl/min, Maximalbereich 30 sl/min, Maximalbereich bis 50 sl/min)

Massendurchflussregler für Gase

FMA-7402

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Massendurchflussregler (Minimalbereich 1 bis 3 sml/min, Maximalbereich 3 bis 10 sml/min)

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Massendurchflussregler (Minimalbereich 3 bis 11 sml/min, Maximalbereich 11 bis 30 sml/min)

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Massendurchflussregler (Minimalbereich 11 bis 31 sml/min, Maximalbereich 31 bis 92 sml/min)

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Massendurchflussregler (Minimalbereich 7,2 bis 15 sl/min, Maximalbereich 15 bis 30 sl/min)

FMA-7411

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Massendurchflussregler (Minimalbereich 15 bis 30 sl/min, Maximalbereich 30 bis 50 sl/min)

Zubehör Konfigurations-Kit (pro Bestellung ein Kit erforderlich)

FMA-745-CK

€373,25

Lieferzeit: 1 Woche

Konfigurations-Kit, Software zum Herunterladen, Programmierungskabel und RS232/RS485-Messumformer

FMA-745-CKP

Consult Sales

Lieferzeit:

Konfigurations-Kit, Software zum Herunterladen, Kabel, Messumformer, Spannungsversorgung und Netzkabel

*Alle Preisangaben in Euro.
Anmerkung: Zum Lieferumfang jedes Geräts gehören ein Werkskalibrierzertifikat und ein Zugangslink zur Software.

Die Bereichsendwerte gelten für Stickstoff bei einer Referenztemperatur von 0°C. Die Auswahl anderer Gase oder Referenztemperaturen führt zu anderen verfügbaren Bereichen.

Standard: 1/4"-Klemmverschraubung, Gasauslass: Umgebungsluft, RS485, 0 bis 5 V Eingang/Ausgang und Referenztemperatur 0°C.

Zur Bestellung mit 1/4"-Edelstahl-VCR-Verschraubungen und PFA-Ventilsitz ergänzen Sie die Modellnummer um „-SS“ (gegen Aufpreis).